第四章光电子能谱原理及应用.ppt

第四章光电子能谱原理及应用;第二页，共八十七页，2022年，8月28日; XPS也叫ESCA（ Electron Spectroscopy for Chemical Analysis），是研究表面成分的重要手段。 原理是光电效应（photoelectric effect）。1960’s 由University of Uppsala, Sweden 的Kai Siegbahn等发展。 EMPA中X射线穿透大，造成分析区太深。而由于电子穿透小，深层所产生的电子不出现干扰，所以可对表面几个原子层进行分析。 （吸附、催化、镀膜、离子交换等领域） ;1、历史;1969年，凯.西格班和HP合作生产出第一台XPS仪器 1981年，凯.西格班因对XPS的贡献获诺贝尔奖金;2、XPS应用;3、原理;X-ray Beam;原子中的电子变为真空中的静止电子所需要的能量;;3.2 原子内层电子的稳定性;3.3、电子结合能化学位移;3.4、电子自由程;4、X射线光电子能谱仪;第十五页，共八十七页，2022年，8月28日;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;5、XPS仪一般性能;高分辨扫描;5.2 检测元素;X射线光电子能谱(XPS);5.3 测试厚度;5.4 灵敏度;6、XPS分析;6.2 荷电效应;6.2.1 标定;6.2.2 电荷补偿;6.3 深度分析;6、XPS分析;;优点：非破坏性，不改变样品的状态 缺点：①分析深度有限 ②角度旋转后，分析面积变化 ;6.3.3 角分辨XPS;6.4 特异峰;6、XPS分析;6.4.2 鬼峰（ghost peaks）;6.4.3 能量损失峰;6、XPS分析;6.5 定量分析;令 S =σψγAλ 为灵敏度因子 ;7、XPS仪器新进展;7.1.1 单色化原理;A;原子面对X射线的反射并不是任意的，只有当?、?、d三者之间满足布拉格方程时才能发生反射。;7.1.2 单色化XPS优点;7.2 小束斑XPS; X射线在样品上的光斑大小与电子打在金属（阳极）上的光斑大小近似。调节电子斑大小即可调节X射线光斑大小。 聚焦电子束，调节电子斑尺寸。 ;7.2.2 特点;7.2.3 应用;7、XPS仪器新进展;7、XPS仪器新进展;7.3 成像 XPS;7、XPS仪器新进展;8. XPS应用;8.2 表面（界面）元素及化合物测定 ;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;8. X射线光谱仪功能;8. X射线光谱仪功能;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;C1s scan spectra: a. pristine MWCNTs, b. oxidized MWCNTs, c. DEA-functionalized MWCNTs d, purified-MWCNTs treated by DEA ;心脏瓣膜用肝磷酯处理 ;心脏瓣膜用肝磷酯处理 ;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;氯和金属没有发生作用;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;8. XPS应用;9.XPS仪器开放使用第四章光电子能谱原理及应用;第二页，共八十七页，2022年，8月28日; XPS也叫ESCA（ Electron Spectroscopy for Chemical Analysis），是研究表面成分的重要手段。 原理是光电效应（photoelectric effect）。1960’s 由University of Uppsala, Sweden 的Kai Siegbahn等发展。 EMPA中X射线穿透大，造成分析区太深。而由于电子穿透小，深层所产生的电子不出现干扰，所以可对表面几个原子层进行分析。 （吸附、催化、镀膜、离子交换等领域） ;1、历史;1969年，凯.西格班和HP合作生产出第一台XPS仪器 1981年，凯.西格班因对XPS的贡献获诺贝尔奖金;2、XPS应用;3、原理;X-ray Beam;原子中的电子变为真空中的静止电子所需要的能量;;3.2 原子内层电子的稳定性;3.3、电子结合能化学位移;3.4、电子自由程;4、X射线光电子能谱仪;第十五页，共八十七页，2022年，8月28日;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;5、XPS仪一般性能;高分辨扫描;5.2 检测元素;X射线光电子能谱(XPS);5.3 测试厚度;5.4