MEMS技术发展现状及发展趋势.docx

MEMS 技术发展现状及发展趋势 MEMS 系统在工业、信息通信、国防、航空航天、航海、医疗、生物工程、农业、环境和家庭服务等领域有着潜在的巨大应用前景， 它将成为本世纪最重要的科技领域和主要的支柱技术之一。 目前对 MEMS 的需求产业主要来自于汽车工业、通信网络信息业、军事装备应用、生物医学工程；而按专业 MEMS 分四大类：生物MEMS 技术、光学、MEMS 技术、射频 MEMS 技术、传感 MEMS 技术。 总述 生物 MEMS 技术 生物 MEMS 系统具有微型化、集成化、成本低的特点。功能上有获取信息量大、分析效率高、系统与外部连接少，具有实时通信、连续检测的特点。国际上生物 MEMS 的研究已成为热点，在不久将为生物、分析化学分析系统带来一场重大的革新。 CardioMEMS 公司采用MEMS 技术制成心血管微传感器可测量动脉的压力，该传感器就像汽车里的 EZPass 设备(一种在高速公路入口无需停车即可完成付费的自动感应装置)一样工作，本身不带电源， 读取信息时在外面用一个感应棒启动传感器即可得到此人动脉的所 有相关数据。利用 MEMS 还能制作出智能型外科器械，减少手术风险和时间，缩短病人康复时间，降低治疗的费用。Verimetra 公司正 在利用 MEMS 把现有手术器械转变成智能型手术器械，可用于多种场合，包括小手术、肿瘤、神经、牙科和胎儿心脏手术等。 药物注入是生物医学 MEMS 另一个可能有巨幅增长潜力的领域，MicroChipd 公司正在开发的一种药物注入系统利用了硅片或聚合物微芯片，其上带有成千上万个微型贮液囊，里面充满药物、试剂及其它药品。这些微芯片能够向人体注入药物，使止痛剂、荷尔蒙以及类固醇之类的注入方式发生革命性的变化。类似这样的生物医学新进展还将催生出新型器械，如便携式掌上型透析机等。 光学 MEMS 技术 随着信息技术、光信息技术的迅猛发展， MEMS 发展的又一领域是与光学结合。即综合微电子、微机械、光电子技术等基础技术， 开发新型光器件称为微光机电系统 MOEMS，它能把各种 MEMS 机构件与微光学器件、光波导器件、半导体激光器、光电检测器件等完整地集成在一起，形成一种全新的功能系统。目前较成功的应用科学研究主要集中在两方面：一是基于MOEMS 的新型显示、投影设备， 主要研究如何通过反射面的物理运动进行光的空间调制，典型代表为新型投影仪、数字微镜阵列芯片和光栅光阀。二是通信系统，主要研究通过微镜的物理运动来控制光路发生预期的改变，较成功的有光开关、关调制器、光滤波器及复用器等光通信器件 图 1 基于 MEMS 的多端口无阻赛全光交叉连接器（OXC） 图 2 一个 848x600 数字微镜器件 图 3 三个镜片有效地反射光线来投影一个数字形象 射频 MEMS 技术 目前最熟悉的应用就是无线通信领域，诸如手机、无线接入、全球定位系统和蓝牙技术。其中最成熟的 MEMS 器件当属开关。 在日本，欧姆龙公司首先开发上市 MEMS 开关产品，随后有日本村田制作所，松下网络开发本部及日本三菱电机公司都相继开发了高频 RF MEMS 的开关。中国在 MEMS 方面也进行了大量的工作， 对悬臂式 RF MEMS 开关进行了设计和研制。对 RF MEMS 开关驱动电压进行了分析和研究。 MEMS 开关制造商 TeraVicta Technologies 公司将推出号称世界上最快的 MEMS 开关。这种单极双掷开关适用于数字电视、卫星通信和定向雷达等领域。在此之前，该公司已经推出了 7GHz 的 MEMS 开关，用于自动测试设备(ATE)和 RF 无线领域。 传感 MEMS 技术 传感 MEMS 技术是指用微电子微机械加工出来的，用敏感元件如电容、压电、压阻、热电偶、谐振、隧道电流等等来感受转换电信 号的器件和系统。包括：速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等等各种传感器。现阶段各类传 MEMS 感器技术已经大量的应用到了各个领域。 苹果公司颇有想象力地使用MEMS 加速计来支持iPhone 显示器横向与纵向画面的自动切换，取得了巨大的成功，从而刺激了智能手机用于探测运动的 MEMS 应用的激增。图四为 ADI 公司生产的ADXL203 双轴硅微加速计。此外还有应用于导航和制导领域如小型无人机的导航控制、短程战术武器制导的高精度微加速度计。Litton SiAC 硅加速度计为其典型的代表（如图五所示） ，已广泛应用于LN-200、LN-200S、LN-300 等惯性测量组合上，以及 LTN-101E、LISA-200 两种民用和军用飞机惯性导航系统上。 图四 ADXL203 双轴硅微加速计 图五 Litton SiACTM 硅加速度计 2002 年，ADI 公司研制成功世界