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一种防止三甲基铝雾化废气废液堵塞管道系统.pdfVIP

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  • 2023-03-23 发布于北京
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一种防止三甲基铝雾化废气废液堵塞管道系统.pdf

    本实用新型涉及一种防止三甲基铝雾化废气废液堵塞管道系统，包括三甲基铝原料柜、三甲基铝缓冲柜、三甲基铝分流盘、三甲基铝废气废液处理器、真空泵以及管道，所述管道包括VENT排放管与真空管道，所述管道外设有多个加热装置，所述VENT排放管和真空泵的排放管在远离真空泵出口处合并。本实用新型采用VENT排放管道加热法，有效的加强了三甲基铝雾化流体及部分三甲基铝液体有效流通，采用提前并入法，有效的减少了VENT排放的小口径管道的用量；采用多次吹扫法，有效的减少AL2O3粉末的积累。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213872214 U (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202022408791.5 B08B 3/02 (2006.01) (22)申请日 20

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