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- 2023-03-28 发布于四川
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本实用新型提供了一种靶材环件的包装结构，所述包装结构包括靶材环件、真空包装袋和模具，所述靶材环件呈中空薄壁结构，放置于真空包装袋内，所述模具间隔真空包装袋放置于靶材环件的中空结构中，并与靶材环件的内壁相接触。本实用新型所述包装结构通过将模具设置于靶材环件的中空位置处，用于固定靶材环件，并采用真空包装袋间隔，使得靶材环件的包装及抽真空过程极大简化，既能够快速完成靶材环件的完全真空包装，又能够避免抽真空过程中靶材环件的变形，便于靶材环件的运输与保存；所述模具结构简单，使用方便，完成包装后可随时取出，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214002766 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202022157864.8
(22)申请日 2020.09.27
(73)专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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