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第6章 压电式传感器压电式传感器是一种有源的双向机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1680年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器。返回下页 第6章 压电式传感器6.1 压电转换元件的工作原理--压电效应6.2 影响压电传感器的因素6.3 压电材料6.4 等效电路6.5 测量电路6.6 压电式传感器的应用举例6.7 新型压电材料及应用6.8 超声波传感器原理及应用本章要点返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理某些晶体或多晶陶瓷，当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。上述现象称为正压电效应。反之，如对晶体施加一定变电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应。返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|压电式传感器大都是利用压电材料的压电效应制成的。在电声和超声工程中也有利用逆压电效应制作的传感器。压电转换元件受力变形的状态可分为 图6-1所示的几种基本形式。|但由于压电晶体的各向异性，并不是所有的压电晶体都能在这几种变形状态下产生压电效应。例如石英晶体就没有体积变形压电效应。但它具有良好的厚度变形和长度变形压电效应。返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|压电方程和压电常数矩阵|压电效应? 正压电效应——某些晶体或多晶陶瓷受到外力作用时，内部就产生极化现象，表面上产生符号相反的电荷的现象；? 逆压电效应——如对晶体施加一定电场，晶体本身将产生机械变形的现象。返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|天然石英晶体的结构外形? 光轴( Z轴):晶体的对称轴,光线沿Z轴通过晶体不产生双折射现象,且无压电效应；? 电轴(X轴):与该压轴垂直的面，压电效应最为显著;? 机械轴(Y轴):在外电场作用时，在此轴上产生的机械变形最大。返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|压电方程——压电效应的数学表达式? 压电效应：晶体表面上产生的电荷与外力作用大小成正比。精确表达式式中：d 是压电常数，单位为(C/N)；ijP 是电荷的表面密度，单位为(C/cm2);iσ 是单位面积上的作用力（应力），i单位为(N/cm ）。2返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|压电常数矩阵：|一般情况下压电方程：返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|石英晶体压电效应机理：返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|单向应力单独作用时（Fx、Fy及Fz ），只在表面A和B上出现电荷，符号与Fx，Fy有关：(1)P ≠ 0， P = P = 0, (当只有Fx或Fy时)：123d =-d ≠ 0, d =d =0, d =d =0;111221312232(2)P = P = P = 0, (当只有Fz时)：123d =d =d =0;132333返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|剪切力单独作用时，在表面A和B及C和D上出现电荷：(3) P ≠ 0， P = P = 0, (当只有σ 时,使晶体在x1234方向有伸缩,等效有σ 作用)：1d ≠ 0, d =d =0;142434(4) P ≠ 0， P = P = 0, (当只有σ 、σ 时,改变21356了晶体在y方向无电荷的状况)：d ≠ 0, d ≠ 0, d =d =0, d =d =0;252615351636返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|压电常数矩阵：对石英晶体返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|压电陶瓷压电效应机理§ 压电陶瓷是一种经过极化处理的人工多晶铁电体 。? 多晶：由无数细微单晶组成；? 铁电体：具有电畴结构；? 电畴：分子自发形成的极化方向相同的小区域。返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|极化处理：在一定温度下，以强电场使“电畴”规则排列，余下了很强的剩余极化，压电陶瓷材料表面出现束缚电荷，吸附空气中的自由电荷，形成压电陶瓷。|压电常数矩：?注意事项：极化面在Z轴，而X，Y轴各向同性。返回上页下页 6.1 压电转换元件的工作原理|单向应力的压电方程表达其中，P=Q/S， σ=F/S （S为作用面的面积），?压电陶瓷与石英晶体比较压电陶瓷效果显著。返回上页下页 6.2 影响压电式传感器主要因数①横向灵敏度§ 横向灵敏度是衡量横向干扰效应的指标。一只理想的单轴压电传感器，应该仅敏感其轴向的作用力，而对横向作用力不敏感。产生原因是压电片制造得作用面不平行，粗糙，以及安装不精确，使得力 轴S 与电轴S （极化轴）不重mL合。二者成?角。其定义用其相对轴向灵敏度的百分比表示。返回上页