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本发明属于驻极体材料技术领域，具体涉及一种无机微晶驻极体材料及其制备方法，其原材料组成及相应重量百分比为：二氧化硅35％‑45％、氧化锌15％‑25％、三氧化二硼15％‑25％、氧化镁10％‑15％、其余为性能调节剂，选取二氧化硅、氧化锌、三氧化二硼和氧化镁进行混合，经高温熔制，制备出复合粉体材料，具有多组分复合化、微晶结构、单一稳定的能阱机制、正负对称的驻电性能，将复合粉体材料与熔融状态的天然蜡或松香一同配置成溶胶体，更加便于涂覆于单晶硅的抛光面上，再经特定升温速率及升温阶段值的选取，使得无机
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113998995 A
(43)申请公布日 2022.02.01
(21)申请号 202111333707.0 C04B 35/632 (2006.01)
(22)申请日
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