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动态随机存取存储器及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于北京
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动态随机存取存储器及其制作方法.pdf

    本发明公开了一种动态随机存取存储器及其制作方法，包括衬底、设置在衬底内的隔离结构、设置在衬底上的多条位线、设置在位线之间并与有源区直接接触的多个存储节点接触插塞，以及分别设置在存储节点接触插塞上并且与位线部分重叠的多个存储节点接触垫，其中存储节点接触垫包括位于位线正上方的第一侧壁以及位于存储节点接触插塞正上方的第二侧壁。所述动态随机存取存储器还包括金属氮化物层，至少覆盖在存储节点接触垫的第一侧壁和第二侧壁上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114038850 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111403345.8 (22)申请日 2021.11.24 (71)申请人 福建省晋华集成电路有限公司

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