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大学微电子材料教案
大学微电子材料教案
教学目标：
本课程旨在通过教授微电子材料的基本知识，帮助学生掌握微电子学的基本原理和应用，培养学生的分析能力、实验能力和解决问题的能力，使其成为应用微电子材料的高级工程师和科研人员。
教学内容：
本课程将重点介绍微电子材料的基本知识，包括：
1. 微电子材料的基本概念和分类
2. 半导体材料的物理性质和应用
3. 掺杂半导体和PN结的制备和性质
4. 金属材料的物理性质和应用
5. 光电材料的物理性质和应用
6. 基本微电子器件的性质和应用
7. 微电子材料的制备和表征技术
8. 微电子材料的应用领域和未来发展方向
教学方法：
本课程采用讲授、案例分析、实验讲解等多种教学方法。教师将通过多媒体技术演示课程内容，讲解理论知识，引导学生思考和发问。并通过案例分析和实验讲解，加深学生对于微电子材料的理解和应用，提高学生的实验和解决问题的能力。
实验设计：
实验一：半导体材料的电阻率测量和PN结的制备
实验二：金属材料的热膨胀系数测量和纯净样品制备
实验三：光电材料的光吸收特性实验
实验四：基本微电子器件参数测试实验
实验五：微电子材料的表征技术实验
实验六：微电子材料制备实验
实验要求：
1. 学生需提前学习实验内容，并准备实验用具和材料。
2. 学生需按实验流程进行实验操作，并记录实验数据。
3. 学生需及时完成实验报告，并提交给教师。
评分要求：
平时成绩占总分的40%，主要考察学生的课堂表现和实验操作情况。
期末考试占总分的60%，主要考察学生对于微电子材料的理解和应用，以及解决问题的能力。
参考书目：
1.《微电子材料与器件》 李南文 著
2.《微电子材料》 朱建英 著
3.《半导体材料科学与技术》 何新强、刘泽民 著
4.《微电子材料与工艺》 刘玉祥、陈诚 著
总结：
本课程将帮助学生了解微电子材料的基本知识和应用领域，能够为学生今后的工作和研究提供基础支持。实验环节的设置能够帮助学生更好地理解微电子材料的制备和表征技术，提高学生的实验和解决问题的能力。同时，通过本课程的学习，还能够帮助学生更好地了解微电子材料的未来发展方向。
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