化学气相沉积与纳米管.pptxVIP

化学气相沉积与纳米管第1页/共52页第2页/共52页What is the Chemical Vapor Deposition?化学气相沉积是利用气态或蒸气态的物质在气相或气固界面上生成固态沉积物的技术。20世纪60年代由美国科学家John M Blocher Jr等人首次提出古人类在取暖和烧烤时熏在岩洞壁或岩石上的黑色碳层古代从事炼丹术的“术士”或“方士”为寻找“成仙”或“长生不老”之药而普遍采用的“升炼”法砷化镓一类的光电晶体，基本上就是采用“升炼”方法制得第3页/共52页化学气相沉积的基本原理 化学气相沉积是利用气态物质在一固体表面进行化学反应，生成固态沉积物的过程。所用反应体系要符合下面一些基本要求：反应原料是气态或易于挥发成蒸气的液态或固态物质。反应易于生成所需要的沉积物而其它副产物保留在气相排出或易于分离。整个操作较易于控制化学气相沉积的特点第4页/共52页化学气相沉积的反应类型热分解反应氧化反应氢还原反应化学输运反应把所需要的物质当做源物质，借助于适当的气体介质与之反应而形成一种气态化合物，这种气态化合物经化学迁移或物理载带（用载气）输运到与源区温度不同的沉淀区，再发生逆向反应，使得源物质重新沉淀出来，这样的过程称为化学输运反应。上述气体介质叫做输运剂其它化学反应物理方法激励反应过程在低真空条件下，利用直流电压、交流电压、射频、微波或电子回旋共振等方法实现气体辉光放电