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多图案化的溅射捕集器及制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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多图案化的溅射捕集器及制造方法.pdf

    本发明公开了一种溅射室颗粒捕集器，所述溅射室颗粒捕集器包括在所述颗粒捕集器的表面的至少一部分上形成的第一图案和第二图案。所述第一图案包括以下项中的一者：具有第一深度并且被第一线和第二线隔开的第一凹痕，以及具有第一高度并且被第一凹槽和第二凹槽隔开的第一脊。所述第二图案在所述第一图案的至少一部分上形成，并且包括以下项中的一者：具有第二深度并且被第三线和第四线隔开的第二凹痕，以及具有第二高度并且被第三凹槽和第四凹槽隔开的第二脊。还公开了一种在溅射室部件上形成颗粒捕集器的方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111328351 A (43)申请公布日 2020.06.23 (21)申请号 20188

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