洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法 征求意见稿.docx

ICS 13.040.35 CCS 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.3—202X/ISO 14644-3:2018 洁净室及相关受控环境 第 3 部分：检测方法 Cleanrooms and associated controlled environments— Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2018,IDT) (征求意见稿) XXXX - XX - XX 发布 XXXX - XX - XX 实施 目 录 前 言 I 引 言 2 1 范围 3 2 规范性引用文件 3 3 术语和定义 3 4 检测规程 6 5 检测报告 8 附录 A(资料性附录)支持性检测和清单的选择 10 附录 B(资料性附录) 支持的检测方法 14 附录 C(资料性附录) 检测器具 34 参考文献 错误!未定义书签。 I 前 言 本文件按照 GB/T 1.1—2020 《标准化工作导则 第 1 部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件是 GB/T 25915《洁净室及相关受控环境》的第 3 部分。 GB/T 25915 已经发布了以下部分: ——第 1 部分： 按粒子浓度划分空气洁净度等级； ——第 2 部分： 洁净室空气粒子浓度的监测； ——第 3 部分： 检测方法 ——第 4 部分： 设计、建造、启动 ——第 5 部分： 运行 ——第 6 部分： 词汇 ——第 7 部分： 隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境) ——第 8 部分： 按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级 ——第 9 部分： 按粒子浓度划分表面洁净度级别 ——第 10 部分：按表面化学物浓度划分表面洁净度等级 ——第 12 部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。 本文件代替 GB/T25915.3—2010《洁净室及相关受控环境 第 3 部分： 检测方法》， 与 GB/T25915.3 —2010 相比， 除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： a) 第 3 章术语和定义 ——修改术语“离散粒子计数器”为“光散射离散粒子计数器”(见 3.6.4)； ——增加了“受控环境” (见 3.1.3) “分辨率” (见 3.1.6) “灵敏度” (见 3.1.7) 和“配有 流量计的风量罩” (见 3.6.3) ； ——删除了 “大粒子”“M 描述符”“U 描述符”“超微粒子”“标准渗漏透过率”“平均风量” “非等动力采样”“串级撞击采样器”“凝聚核计数器”“计数效率”“微分迁移率分析仪”“扩散元 件”“伪计数”“风量罩”“同轴采样”“等动力采样”“粒径限制器”“阈值粒径”“飞行时间粒径 测量”和“虚拟撞击器”； b) 更改了“必测项目”为“一般检测”，并更新了具体内容 (见 4.1.1，2010 年版 4.1.1)； c) 更改了“可选检测项目”为“支持性检测”， 并更新了检测项目(见表 2，2010 年版表 2)； d) 更改了空气压差检测(见 4.2.1，2010 年版 4.2.3) 、气流检测(见 4.2.2，2010 年版 4.2.2)、 气流方向检测与可视化 (见 4.2.3，2010 年版 4.2.5)、 自净检测 (见 4.2.4,2010 版 4.2.9)、 温度检测 (见 4.2.5，2010 年版 4.2.6)、 湿度检测 (见 4.2.6，2010 年版 4.2.6)、 已装过 滤系统检漏(见 4.2.7，2010 年版 4.2.4)、 维护结构密闭性泄漏测试 (见 4.2.8，2010 年版 4.2.10)、 静电和离子发生器测试 (见 4.2.9，2010 年版 4.2.7) 、粒子沉降测试 (见 4.2.10， 2010 年版 4.2.8)； e) 隔离测试 (见 4.2.11)； f) 删除了空气悬浮粒子计数(见 2010 年版 4.2.1)； g) 删除了检测规程清单中的“属于洁净度分级和常规检测的空气悬浮粒子计数”“空气超微粒子 计数”“空气大粒子计数”三个大项 (见表 A.1，2010 年版表 A.1)； h) 更改了检测规程清单中的“压差”“气流”“气流方向与显形检查”“自净”“温度”“湿度” “已装过滤器检漏”“围护结构密闭性泄漏检测”“静电和离子发生器”“粒子沉降”10 个大 项(见表 A.1，2010 年版表 A.1)； i) 增加了“隔离检测”(见表 A.1)； j) 增加了“检测和验证计划”(见 A.3)； k) 删除了原附录 B 中“属于洁净度分级与常规检测的空气悬浮粒子计数”“空气超微粒子计数” “空气大粒子计数”“气流方向检测和显