洁净室及相关受控环境 第17部分：颗粒物沉降速率应用 征求意见稿.docxVIP

ICS 13.040.35 CCS C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.17—XXXX/ISO 14644-17:2021 洁净室及相关受控环境 第 17 部分: 粒子沉积速率应用 Cleanrooms and associated controlled environments – Part 17: Particle deposition rate applications (ISO 14644-17:2021，IDT) (征求意见稿) XXXX-XX-XX XXXX-XX-XX 实施 GB/T XXXXX—XXXX I 目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 地闪密度等级划分规则 错误!未定义书签。 5 地闪密度分布图的绘制 错误!未定义书签。 5.1 绘制要求 错误!未定义书签。 5.2 雷电数据收集处理 3 5.3 分布图绘制 错误!未定义书签。 5.4 图面 错误!未定义书签。 附 录 A (资料性) 地闪密度分布图绘制程序框图 7 附 录 B (资料性) 地闪密度分布图示例 10 参考文献 错误!未定义书签。 II 前 言 本文件按照GB/T 1.1—2020 《标准化工作导则 第1部分： 标准化文件的结构和起草规则》的规定起 草。 本文件是GB/T 25915 《洁净室及相关受控环境》的第17部分。GB/T 25915已经发布了以下部分： ——第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； ——第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测； ——第3部分：检测方法； ——第4部分：设计、建造、启动； ——第5部分：运行； ——第6部分：词汇； ——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)； ——第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级； ——第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； ——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级； ——第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求； ——第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁； ——第14部分：按粒子浓度评估设备适用性； ——第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性； ——第16部分： 提升洁净室和空气净化装置的能效； ——第17部分：颗粒物沉降速率应用。 本文件等同采用ISO 14644- 17:2021《洁净室及相关受控环境 第17部分： 颗粒物沉降速率应用》。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319) 提出并归口。 本文件起草单位： 本文件主要起草人： GB/T XXXXX—XXXX 1 洁净室及相关受控环境 第 14 部分： 按粒子浓度评估设备适用性 1 范围 作为污染控制计划的一部分，本文件对洁净室一个或多个易损表面上粒子沉积速率(PDR)测量结 果的解释和应用提供了指导。它提供了一些关于如何影响 PDR 和降低易损表面上粒子污染风险的说明。 本文件提供了有关洁净室用户如何通过测量 PDR 来确定易损表面上宏微粒子的限值的信息。它还提 供了一种风险评估方法，通过该方法可以确定微粒沉积到洁净室易损表面的可接受风险，如果达不到， 则需要采取措施来降低 PDR。 另一种替代 PDR 的方法是粒子遮挡率(POR) ，定义为粒子在表面区域上随时间增加的覆盖率。 POR 可以与 PDR 类似的方式使用，也可算出指定表面所需的 POR，以降低沉积粒子的风险。 本文件不包括： ——提供一种根据 PDR 或 POR 对洁净室进行分类的方法； ——直接考虑携带微生物的粒子的沉积，尽管它们可以被视为粒子； ——不考虑通过接触产生的表面沉积，例如，当人员触摸产品并导致的污染物转移。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件； 不注日期的引用文件， 其最新版本(包括所有的修改单) 适用于本 文件。 ISO 14644-3，洁净室及相关受控环境-第 3 部分：试验方法(2019)，用于描述基于粒子计数的测量 方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 洁净室 cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间， 其设计、建造至运行均能使进入、产生、滞留于房间的粒子 受控。 注 1 ：规定了空气中粒子物浓度的等级。 注 2：还可以指定和控制其他洁净属性的水平， 例如空气中化学的、活性的或纳米级浓度， 并且表 面的粒子、纳米级、化学的和