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检验仪器图解 测温仪： 1、主要用于IR温度测试 第二十九页，共四十三页。 检验仪器图解 台面水平测试仪： 1、主要用于曝光台面水平测试。 第三十页，共四十三页。 检验仪器图解 酚酞： 1、主要用于酸碱点滴测试实验 第三十一页，共四十三页。 OGS制程工艺讲解 品质部：董伍祥 时间：2014年4月21 第一页，共四十三页。 1、目录1 ……………… 镀膜原理 2、目录2 ……………… 镀膜管控点及异常 3、目录3 ……………… 黄光工艺流程 4、目录4 ……………… 黄光管控点及异常 5、目录5 ……………… 检验仪器介绍 第二页，共四十三页。 镀膜原理 第三页，共四十三页。 镀膜管控点 镀膜前清洗： 1、主要管控镀膜前产品的尺寸、规格是否与制令工单相符，以及清洗后产品的洁净度是否满足生产要求。控制监督的要点：清洗液是否要测浓度、清洗机台的速度、以及烘烤的温度，主要依据《镀膜前清洗工艺参数》与实际的点检表是否相符。一旦发现实际参数设定与《镀膜前清洗工艺参数》不符、立即通知当站的负责人、及QC组组长。并及时跟踪结果、直至确认正常。 注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。 b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。 第四页，共四十三页。 镀膜管控点 镀膜百级作业区： 1、主要管控镀膜百级取放产品的作业手法、以及产品的分类情况与镀膜后产品的外观效果是否满足生产要求。一旦发现不符、立即通知当站的负责人、及QC组组长。并及时跟踪结果、直至确认正常。 注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。 b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。 第五页，共四十三页。 镀膜管控点 镀膜控制机台： 1、主要管控镀膜工艺参数是否与实际设定的工艺参数相符。IPQC巡检/首检记录主要依据产线工艺参数点检表与《镀膜工艺参数》相符、一旦发现实际参数设定与《镀膜工艺参数》不符、立即通知当站的负责人、及QC组组长。并及时跟踪结果、直至确认正常。 注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。 b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。 第六页，共四十三页。 黄光工艺流程 ITO 镀膜来料清洗 涂布 光胶 曝光 显影 蚀刻 脱膜 第七页，共四十三页。 黄光管控点 涂布前清洗： 1、 去除玻璃表面的脏污、油污等，使玻璃表面洁净，以保证后续光阻的涂布效果及结合力。主要控制清洗液的浓度以及清洗机的速度。主要检测方法，达应笔，满足要求继续生产，一旦不符要求从洗。 注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。 b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。 第八页，共四十三页。 黄光管控点 涂布前清洗烘烤： 1、主要烘干玻璃表面残留的水渍，使玻璃表面洁净度更高从而满足于生产要求 注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。 b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。 第九页，共四十三页。 黄光管控点 涂布光胶： 1、在玻璃ITO面均匀的涂布上一层感光物质——光阻。（光阻是利用材料光化学反应进行图形转移的媒体，有正性光阻与负性光阻之分，正性光阻经过紫外曝光后，被曝光的区域发生光分解，或降解反应，使性质发生变化优先溶解于正性显影液中，未被曝光的部分则被保留形成正型图形。负性光阻的性质正好相反，是未曝光的部分溶解于负性显影液中。） 2、我司目前采用的是正性光阻，为了能保证图形的稳定性，所用的光阻必须能抗强酸的腐蚀。 3、主要控制涂布膜厚度一般为1.1—2.3um，膜层均匀性。 4、主要异常：涂布针孔、涂布箭影 涂布机台 第十页，共四十三页。 黄光管控点 涂布后烘烤： 1、将光阻中的大部分有机溶剂烘烤，使原本液态的光阻固化。 2、主要控制的参数：软烤时间、软烤温度、 3、主要异常：玻璃受热不均匀、使光阻局部过烤或烘烤不足，造成后续显影不净，或显影过显。 注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。 b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。 IR烘烤 第十一页，