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一种半导体结构，包括：源极/漏极部件，设置于半导体层中、金属栅极堆叠，设置于第一层间介电层中并邻近源极/漏极部件、第二层间介电层，设置于金属栅极堆叠上方、以及源极/漏极接触件，设置于源极/漏极部件上方。所述半导体结构还包括气隙，设置于源极/漏极接触件的底部的侧壁与第一层间介电层之间，其中源极/漏极接触件的顶部的侧壁与第二层间介电层直接接触。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112510038 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202010825708.6
(22)申请日 2020.08.17
(30)优先权数据
16/572,32
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