一种氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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一种氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法.pdf

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本公开涉及一种氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法。该技术的核心工艺是采用氧化物浆料对已经烧结好的小尺寸氧化物陶瓷靶材进行粘结，随后压紧烘干，进行二次高温烧结，可根据需求制备出大尺寸平面和超长环形靶材。该技术的优势在于不仅解决了当今部分企业利用多片小块靶材进行焊接的途径来制造大尺寸靶材所造成的靶材之间存在缝隙从而聚集大量电荷，使靶材易于黑化，进而恶化薄膜透过率，增大薄膜电阻等缺陷；还可以根据市场需求制备不同形状不同尺寸靶材以适应不同的薄膜沉积设备。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112624785 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011232715.1 (22)申请日 2020.11.06 (71)申请人南京大学地址 21

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