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凸块结构及制造凸块结构的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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凸块结构及制造凸块结构的方法.pdf

    本申请涉及凸块结构及制造凸块结构的方法。具体地，制造凸块结构的方法包括在基板上方形成钝化层。在所述基板上方形成金属衬垫结构，其中所述钝化层围绕所述金属衬垫结构。在所述钝化层和所述金属衬垫结构上方形成包含聚酰亚胺的聚酰亚胺层。在所述金属衬垫结构和所述聚酰亚胺层上方形成金属凸块。所述聚酰亚胺是二酐和二胺的反应产物，其中所述二酐和所述二胺中的至少一者包括选自由以下项组成的组的一者：环烷烃、稠环、双环烷烃、三环烷烃、双环烯烃、三环烯烃、螺烷烃和杂环。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750705 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011193620.3 (22)申请日 2020.10.30 (30)优先权数据 62/928,93

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