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化学制品供应设备、用于从化学制品去除颗粒的方法、喷嘴单元以及基板处理设备.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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化学制品供应设备、用于从化学制品去除颗粒的方法、喷嘴单元以及基板处理设备.pdf

    一种化学制品供应设备，包括：蒸发单元，其设置在化学制品供应源的下游以使向其中供应的化学制品蒸发；过滤器单元，其设置在所述蒸发单元的下游，其中当蒸发的化学制品通过所述过滤器单元时，所述过滤器单元过滤所述蒸发的化学制品中的杂质；液化单元，其设置在所述过滤器单元的下游以液化所述蒸发的化学制品；以及化学制品储罐，其设置在所述液化单元的下游以在其中储存所述液化的化学制品，其中在所述化学制品供应源与所述液化单元之间设置电极，其中所述电极与所述化学制品或所述化学制品中的颗粒发生电反应以改变所述化学制品或所述颗

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750730 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011206160.3 B01D 50/00 (2006.01) (22)申请日 2

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