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金属探针结构及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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金属探针结构及其制造方法.pdf

    本发明公开了一种金属探针结构及其制造方法。所述金属探针结构包括一多层基板、一第一软性介电层、一第二软性介电层以及复数个第一金属元件。所述第一软性介电层位于所述多层基板之上，其上形成有一导电层。所述第二软性介电层位于所述第一软性介电层上，覆盖所述导电层。所述多个第一金属元件分别设置于所述导电层上且部分位于所述第二软性介电层中以作为一金属探针。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112710877 A (43)申请公布日 2021.04.27 (21)申请号 20201

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