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一种ALD镀膜设备.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种ALD镀膜设备.pdf

    本发明公开了一种ALD镀膜设备，包括进料装置、镀膜装置，所述进料装置包括升降液压缸、密封圆板，电机安装槽，电机，转轴，载料台，样品槽，弹簧，屏蔽罩，弹簧固定板，所述镀膜装置包括外腔体，内腔体，前躯体存储器，导管，匀气圆板，进气法兰，出气法兰，所述升降液压缸安装在外腔体底面，密封圆板固定在升降液压缸的活塞杆上，电机安装槽与密封圆板固定连接，电机固定在电机安装槽内部，电机转子通过联轴器与转轴相连，载料台固定在转轴上，所述前躯体存储器固定在外腔体侧面，进气法兰和出气法兰均安装在外腔体侧面，与外腔体和内

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853317 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110001842.9 (22)申请日 2021.01.04 (71)申请人 中国计量大学 地址

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