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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开了一种低接触电阻高Al组分氮化物及其制备方法，该氮化物器件包括：衬底、依次位于衬底一侧的成核层、缓冲层、沟道层、插入层、势垒层，以及位于势垒层远离衬底一侧的钝化层、源电极、漏电极和栅电极；其中，源电极和漏电极，源电极和漏电极相对设置于势垒层第一表面的两侧，且至少部分源电极位于第一凹槽内、至少部分漏电极位于第二凹槽内；钝化层位于源电极与漏电极之间，包括在垂直于衬底所在平面的方向上贯穿钝化层的开孔，栅电极位于钝化层远离衬底的一侧，至少部分栅电极位于开孔内。由于上述氮化物的制备过程中未使用源
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113809170 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110984088.5
(22)申请日 2021.08.25
(71)申请人 西安
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