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粘滑驱动纳米定位平台的研制 0 粘滑驱动定位平台设计 随着科学技术的发展，对微观世界的研究日益深入，达到了雅纳米层次，即原始子量级。微驱动技术作为微观领域研究中最为重要的技术,其发展水平严重影响微观领域研究的发展,因此对微驱动技术的研究具有很重要的意义。纳米定位及驱动技术作为微驱动技术的关键组成部分,已经获得了科研人员高度的重视,并取得了迅速的发展。随着纳米定位和驱动技术的日趋完善,其在各个领域的应用也越来越广泛 本文在综合国内外在粘滑驱动研究成果的基础上,提出了一个单自由度粘滑驱动定位平台设计, 该平台载物台可以根据要求设计成相对应的结构, 大大增加了粘滑驱动的操作定位平台的适用性,同时也减小了载物台的质量,从而相应地提高了负载能力。为了优化单自由度粘滑驱动定位平台的设计,首先选择相应的压电陶瓷,对粘滑驱动定位平台进行动力学模型建模;同时,对粘滑驱动定位平台中的柔性铰链尺寸进行优化,防止在驱动过程中柔性铰链在垂直方向上产生耦合运动;成功地搭建了实验平台,并对单自由度粘滑驱动定位平台的性能进行测试验证。 1 单自由度定位平台结构设计 本文所设计的纳米定位平台基于粘滑驱动原理,其包含了基座、致动器(压电陶瓷驱动部件)、 载物台和惯性质量块四个基本部分。其中致动器可带动惯性质量块相对基座进行伸缩运动。而载物台直接安放在惯性质量块上,他们之间的粘着力取决于摩擦力。纳米定位平台就是利用载物台和惯性质量块之间接触面的滑动摩擦力与最大静摩擦力间的差异,控制载物台相对于基座的位移。如图1所示 单自由度定位平台结构设计如图2所示。在此设计中选择了双列滚柱导轨,由于双列交叉滚柱导轨V型滑槽中是滚柱交叉,实验具有响应快、精度高及稳定性好等优点。同时该导轨可以对不同的载物台进行导向,提高了定位平台的适用性。在此结构设计中,载物台设计成 “T”型结构,下面为惯性质量块,上面为载物滑台。传动部分采用了平行板柔性铰链。柔性铰链也称为柔性轴承,是一种结构简单、形状规则的弹性支撑体。柔性铰链具有响应快、无间隙、无机械摩擦、无噪声及无空回定位精度高等优点,在精密微调和微控制领域应用广泛。本实验采用板式柔性铰链实现基座、压电陶瓷和惯性质量块之间的弹性连接。在安装压电陶瓷驱动器时,还需要对上述弹性连接机构进行预紧,防止压电陶瓷与传动柔性铰链之间存在间隙,从而影响定位精度等性能。所谓预紧力是机械专业术语。 在对弹性连接机构的压电陶瓷施加工作电压之前, 为了增强连接的可靠性和紧密性,以防受到载荷后连接件间出现缝隙或者相对滑移而预先受力。在对压电陶瓷进行预紧时,为了防止预紧螺栓损坏压电陶瓷,设计时采用了预紧柔性铰链。为了调整载物台与惯性质量块之间的摩擦力,本文选用了弹簧片,将其放置在载物台下面,以调节载物台与惯性质量块之间的正压力。 2 压电陶瓷输出位移的测量 由于在结构设计中压电陶瓷所采用的昆山攀特公司PTJ150型3 mm×3 mm×6 mm的叠堆型压电陶瓷的最大输出力为330 N,即压电陶瓷最多能承受330 N的压力,超过330 N压力就不能输出位移(X),因为预紧力F 3 参数优化 3.1 柔性新型真系结构分析 柔性铰链在驱动方向上和垂直方向上都存在刚度,为了尽量避免驱动过程中柔性铰链在垂直方向耦合振动,在设计过程中柔性铰链在垂直方向上的刚度要远大于柔性铰链在驱动方向上的刚度,这样柔性铰链在垂直方向上的共振频率远大于其在驱动方向上的共振频率,此时施加驱动频率低于柔性铰链在驱动方向上的共振频率的驱动信号,从而使其尽可能减少在垂直方向上的耦合振动,因此对柔性铰链在垂直方向上的刚度和在驱动方向上的刚度进行分析比较,从而优化柔性铰链的尺寸。对直角平行板柔性铰链进行结构分析,发现其是对称的,是由4个一样的薄板和一个惯性质量块构成 式中:w为铰链位移;I为铰链的惯性质量矩;b为柔性铰链的宽度;d为柔性铰链的厚度;L为柔性铰链的长度;E为柔性铰链材料的弹性模量。 同理可得平行板柔性铰链在垂直方向上的刚度(K K 为了使传动柔性铰链在垂直方向上的刚度是其在驱动方向上刚度的16倍且柔性铰链在驱动方向上的刚度为3.3 N/μm,此刚度相对于压电陶瓷的刚度较小,所以载物台与柔性铰链的共同最大位移与压电陶瓷在自由状态下的最大输出位移几乎不变 3.2 等效定位平台 定位平台的性能除了与柔性铰链有关,还与惯性质量块质量、摩擦力及驱动信号等其他参数有关,为了在设计过程中分析这些参数对定位平台的影响,需要对定位平台进行动力学仿真。在力学方面,压电陶瓷等效为一个质量-阻尼-弹簧系统, 在电学方面,压电陶瓷等效为理想的电位移换能器。柔性铰链、惯性质量块和弹簧片也等效为一个质量-阻尼-弹簧系统。因此图2所设计的定位平台可以等效为图5的模型。其中f为无预紧力作用下压电陶瓷的输出力,m 对于载物台与惯