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一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器.pdf

    本发明涉及一种CMOSMEMS集成流量、气体/湿度传感器，具体涉及一种CMOSMEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法；属于传感器领域。本发明的目的是为了克服现有技术的不足，填补领域的空白，实现单芯片同时检测气体流量与气体/湿度的功能，提供一种CMOSMEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法；该传感器充分利用了流量传感部分加热电阻的热量，极大地提高了能量的利用率，并且具有低功耗、高响应速度、低滞回的优势；采用无需掩模版操作的Post‑CMOS工艺，避免了复杂的光刻步骤，有效降低

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116499517 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310104450.4 G01N 27/12 (2006.01)

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