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- 2023-07-29 发布于四川
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本申请提供了一种片上微型离子泵及其制备方法，该片上微型离子泵包括：电子发射层、具有第一通孔的第一间隔层、具有第二通孔的电子加速层、具有第三通孔的第二间隔层、具有离子吸附剂的离子吸附层，第一通孔、第二通孔和第三通孔构成第一腔室。电子发射层包括电子发射结构，该电子发射结构为热电子发射结构或内场电子发射结构，两种电子发射结构的电子发射稳定，且对工作环境的真空度要求不高，能够显著降低工作电压。因此，本申请实施例提供的片上微型离子泵电子发射稳定，工作电压较低，且对工作环境真空度要求不高，为片上真空的获得提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116504599 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202211736877.8
(22)申请日 2022.12.30
(71)申请人 北京大学
地址 100871
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