JBT 9352-1999透射电子显微镜 试验方法.pdf

ICS17.180.30JBN33中华人民共和国机械行业标准JB/T 9352--1999透射电子显微镜试验方法Test method for the transmission electron microscope1999-08-10 发布2000-01-01 实施国家机械工业局发布 JB/T言本标准是对 ZB N30 007-88(透射电子显微镜试验方法)的参订。 修订时,对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有变化。本标准自实施之日起,代替 ZB N30 007--88。本标准由全国光学和全国光学仪器标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位：上海电子光学技术研究所、上海光学仪器研究所。 6661-9352.中华人民共和国机械行业标准透射电子显微镜 试验方法JB/T 9352-1999机械工业仪器仪表综合技术经济研究所出版北京市广安门外大街甲 397 号邮致编码：100055话63261816廊坊市光达胶印厂印剧机械工业仪器仪表综合技术经济研究所发行*E-mai:editei@网址t :http://content.htm2002 年 7 月第一版2002 年 7 月第一次印剩印数:80 中华人民共和国机械行业标准透射电子显微镜试验方法JB/T 9352—1999代替 ZB N30 007—88Test method for the transmission electron microscope1 范围本标准规定了透射电子显微镜(以下简称电镜)的试验方法。本标准适用于透射电镜主机性能的试验。2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为·有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB 7667-1996 电子显微镜 X 射线泄漏剂量规定JB/T 9351—1999 电子光学仪器包装通用技术条件3 总则3.1 本标准的排列次序,并非试验时的规定程序,试验时可按具体情况进行安排,但应以后项试验不受前项试验的影响为原则。3.2 电镜应在下列的正常条件下进行试验：a）环境温度:20℃±5℃,变化率小于 1℃/h;b) 相对湿度:不超过 70%;c)电源：单相220V+22V,50Hz+0.5Hz;三相 380V±38V,50Hz+0.5Hz;d)电源电压波动率:1min 内不大于 1%;el具有独立地线，接地电阻不大小42；物镜周围杂散磁声,交流不大于 3×10-T;g)水源：流量、压力符合产品说明书要求,进水温度为10℃~25℃;h)震动;地面振幅不大于 2μm(5Hz),5μm(10Hz),6μm(20Hz);i)其它：无影响测量的各种干扰。3.3电镜通电预热时间不超过 2h。4分辨力试验4.1试验设备a） 10 倍读数放大镜；b）激光衍射仪。4.2 试验程序在测定分辨力时，电镜的放大率必须是经过校正的。4.2.1晶格分辨力的试验国家机械工业局 1999-08-10 批准2000-01-01 实施1 JB/T 9352-1999使电镜处于最佳工作状态，然后拍摄与电镜指标相应的已知晶格条纹照片，在所拍的照片上，晶格条纹应该是清晰的，条纹间距与已知的晶格间距相符，此晶格间距邸为电镜的晶格分辨力。4.2.2点分辨力的试验调整电镜，使其处于最佳工作状态，然后连续拍摄两张点分辨样品的照片。将所拍得的照片进行光学放大，其光学放大率不应大于 10倍，放大后的分辨辩间距不小于0.4mm.在放大后的照片上寻找两对以上能分辨的点,每对点的连线之间的夹角应大于 60°,并必须在另一张照片上能找到这两对对应点。然后测量两点之间距离。将此距离换算或样品上的实际距离,这实际距离中的较大者即为点分辨力。5 放大率的试验5.1试验样品a）采用经过标定的样品，误差在±5%以内。b)放大率不大于10万倍时用非磁性金属网格及光栅的复型样品。c）放大率大于10万倍时用晶格样品。5.2试验程序5.2.1在电镜所标称的最低和最高放大率及两者之间任选三档,共五档，各拍张照片记录。5.2.2用网格或光栅测定放大率时,需取五条(或五格)以上进行测量。5.2.3 在样品上找标记用比较法测定放大率时,标记的大小需求在较高倍时大于 1/2 底片宽度,每次比较的两档放大率相差不大于2借。5.2.4有多档加速电压的电镜,可选择两档常用的加速电压,每档均按上述方法进行测试。6 样品污染和漂移的试验6.1试验样品采用膜孔样品，膜孔尺寸以在荧光屏,上放大到20mm~30mm 为宜。6.2 试验程序6.2.1电镜处于拍摄分辨力的最佳条件,超过 10 万倍的电镜可选用不小于 10 万倍的放大率。6.2.2 选一较圆整的孔调到荧光屏中心位量,物镜调