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- 2023-08-02 发布于四川
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本发明公开了一种离子源，该离子源包括电离组件、第一电子源和第二电子源以及磁体组件。该电离组件包括电离室和至少一个离子透镜。该电离组件具有由离开该电离组件的离子束的方向限定的主轴，并且该电离室和该至少一个离子透镜沿着该主轴布置。该第一电子源沿着该电离组件的该主轴对准并且被配置成提供平行于该主轴的电子束。该第二电子源与该电离组件相邻并且被配置成提供与该主轴正交的电子束。该磁体组件包括磁体。该磁体组件能够在第一位置和第二位置之间移动，在该第一位置中该磁体与该第一电子源对准，在该第二位置中该磁体与该第二
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116529848 A
(43)申请公布日 2023.08.01
(21)申请号 202180077115.9 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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