纳米电子纳米光电子技术.docxVIP

本文由 007LSL 贡献 pdf 文档可能在WAP 端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。第 卷第期 飞 通 光 电 子 技 术年 月 纳 米 电子 纳米光 电子 技术程开 富 值 息产业 部 电子第 料 研 究所 摘关妞词 , , 庆 《 口阅 、 、 要 主 要介 绍 纳 米 技 术 领 域 里 纳 米 电 子 学 纳 米 光 电 子 学的 基本概念 纳 米 电 子 学的 分 类 、 纳 米 电子 器 件 纳 米 光 电 子 器件 纳 米 电子 学 、 纳 米 电 子 学和 纳 米 光 电 子 学的 发 展模 式 以 及 纳 米 高技 术 群 纳 米光 电子 学 。 纳 米技术 纳 米 电 子 器 件纳 米 光 电子 器 件引言 在 人 类 的 科 学 技 术 史 上工 业 化 时代 , , 曾经 发 生 了两 次 产业 革 命 。 。 , 即 蒸汽 机 的 发 明 使人 类 由农 业化进 入 了 , 晶 体 管 的发 明 使 人 类进 入 了 信 息 时 代 , 在 人类 文 明 历 史 的 发 展 进 程 中 , 没 有任 何 事 , 物 可 以和 科 学 技 术 对 人类产 生 的 巨 大 影 响相 比活 带来 更 重 要 的 影 响 生 产 时代 , 今 天 又 一 次 产 业 革 命 即 将 到 来并会 对 人 类 的生 纳米技术 这就 是“ 纳 米 技术” ’ 米 , 内 光 电 子 技术 , ”。 众 多科 学 家 认 为 。 纳 米 光 电 子 技 术有 可 能是 人 类 历 史 上 的第 三 次 产 业 革 命它 将 使 人类进 入 智 能 化 的 类 生物 体 系 的 、 将会直接推 动信息 、 生 命 和 环 境 科 学 等 诸 多 领 域 的发 展 , 从现在到 年 的近 十年 中 微 电子 技 术仍将 围绕 着 大 容量 。 高速度 , 、 高密 度 、 高频 率 、低 功 耗 以及 多功 能方 向继 续 发 展而 相 继 出现 。 在 传 统 的 微 电 子技 术 继 续推 进 的 同 时 据 预测 , , 新 的 领 域 也 将 随 着技 术 的进 步 , , 以 及 理论研 究 的深 入基 于纳 米 级 尺 寸 加 工 的纳米 技 术 , 基 于 真 空 电 子 器 件 电 子 输运 原理 和 与微 电子 器件 制 造 技 术 相 结合 的 真 空 微 电 子技术以 及 通 过 半 导 体 微 细 加 工 技 术 和 特 殊 的 工 艺 如 微 电子 机 械 加 工 技术 和 微光 电机 械 加 工 技 术的 微 电子 机 械 系统 在 半 导 体 基 片 上 制 造微 型 或超 微 型 机械 部 件 , 技 术 以及 电子 器 件 和 微光 学元件 集成而 构 成 的微 光 电 机 械 系 统 。 将成为 。 世 纪 的新 型 微 电子 技术 在 半 导 体超微 细 加 工 技术 基 础 上 发 展 起来 的纳 米 加 工 技 术 不 , , 仅 能制作 出单 电子 存储 器另外 , 而 且 也 可 制 作 出 精 巧 的微 电子 机 械 系 统和 , 和 微 光 电机 械 系 统 。 把 微 电子 技 术 与 , 等技 术 结合 起 来 , 还 可 以制 造 出纳 米 机 器 人这 种 机 器 人 能注 入 到人 体 血 管 中 实施 检 查 和 治 疗 等这 对 人类 健 康 和 生 活 必 将 带 来重 大 的影 响 。随 着 纳米 技 术 的发 展 基 于 量 子 效 应 的 单 电子器 件 和 高 密 度 的量 子 集 成 电路 。 将 成 为半 导 体器 件一个 新 的发展 方 向径 。 信 息 社 会 对 集 成 电路 的 集 成 度 要 求越 来 越 高 , , 促使 人们 不 断 探 索 能 够 突 破 器件 尺 寸极 限 的途 , 纳 米 电子 学 和 纳 米 光 电子 学在 此 背 景 下 应 运 而 生处 于 半 导 体科 学和 工 程 研 究 的 前沿 “ 。 采 用 纳 米 量 子 结构 的 光 电子 信 息 技术 革命 与伟 大变 革 具 有 同 样 重 大 的意 义 。 年 前 用 的 微 电子集 成 芯 片取 代 晶 体管 引 发 的 联姻” 光 电子 技 术 是 电 子 技 术 与 光 子 技 术 o 。的产 物 。 光 电子 技 术在 技术 , 世 纪 后 期 异 军 突 起 取 得 了 长 足 的 进 展 光 电 子 技 术 与 纳 米 技 术相 结合 而 产 生 的纳 米 光 电子 , 为光 电子 技术 的 发 展 开 辟 了 一 个 全 新 的 领 域 。 世 纪 将 是 光 电子 技术 和 纳 米 光 电子 技 术 发