静电防护讲议.pptVIP

第一页，共二十页，2022年，8月28日 2.傳導: 電荷的轉移, 示意圖如下:?  A B電量相等電荷轉移?? + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + 第二页，共二十页，2022年，8月28日 3. 感應: 帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電, 示意圖如下: A B 靜電感應只對導體和半導體才有作用. + + + + + + + + + + + + — — + + — — + + — — + + 第三页，共二十页，2022年，8月28日 二. 靜電電荷產生的種類: 1. 摩擦 2. 分離 3. 電場感應 4. 傳導 第四页，共二十页，2022年，8月28日 三.靜電電荷對微電子工業的影響: 1. 微粒污染: 在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米 之間的顆粒沉積的主要原因. 當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵. 2. ESD(ESD中文意思是靜電放電)失效: 靜電放電時當放電電流過大, 產生過高熱能, 將會擊穿集成電路內部線路. 3. 三種擊穿現象: 1. 熱擊穿: P-N破壞 2. 介電擊穿: 氧化層的破壞 3. 金屬汽化: 金屬線被汽化而開路 第五页，共二十页，2022年，8月28日 四.半導體的靜電敏感度: 裝置型式 靜電放電敏感度範圍(伏) 裝置型式 靜電放電敏感度範圍(伏) VMOS 30~1800 散粒(肖特基)二極管 300~2500 MOSFET 100~200 薄片電阻(厚,細) 300~3000 GaASFET 100~300 雙向晶體管 380~7000 EPROM 100 ECL(發射極偶合邏輯電路) 500~1500 JFET 140~7000 SCR(可控硅) 680~1000 SAW 150~1500 散粒(肖特基)晶體管 1000~2500 OP-AMP 190~2500 散粒晶體管邏輯電路 1000~2500 CMOS 250~3000 第六页，共二十页，2022年，8月28日 五.靜電放電的三種型式: 1. 人體型式: 當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電, 若不及時將靜電 釋放給大地, 而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞. 2. 微電子器件帶電型式: 在自動化生產過程中, 一些塑料器件因摩擦產生靜 電, 通過ESD敏感裝置接觸, 造成損壞. 3.場感應型式: 在有強電場圍繞時, 能通過感應方法損壞ESD敏感裝置 . 第七页，共二十页，2022年，8月28日 六.靜電電荷的消除原理: 1. 接地: 將導體材料接通大地, 把靜電電荷傳導到大地. 2. 離子中和: 用離子發生設備產生離子, 來中和物體表面所帶靜電荷. 3. 屏蔽: 用高導電性材料做成屏蔽層, 使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞. 第八页，共二十页，2022年，8月28日 七.??? ESD等級分類： 等級 電壓範圍 典型設備 0 0~100V EPROM, VMOS, MOSFET, GAAS, FET, SAM 1 100~1000V SCR, JFET, 薄膜電阻, 二極管 2 1000~4000V Protected MOS, SCHOTTKY, TTL, OP- AMP and LSI 3 4000~15000V 大多其它半導體 第九页，共二十页，2022年，8月28日 八.預防措施:a. 人员 凡生产中可能接触到电子元器件或产品的人遇均需具备一定的静电防护措施. 1、在线生产人员必须佩戴有线防静电手环方可作业,该有线防静电手环应与专用之接地线相连; 2、非在线之作业员,设备操作员,现场之管理干部及周边单位(工程、品管、检测、企划等)技术员、工程师等需佩戴证明有效的无线式防静电手环； 第十页，共二十页，2022年，8月28日 3、SMT现场之工作人员,除佩戴相应之防静电手环外,还应该穿防静电服与防静鞋;