纳米薄膜制备.pptVIP

第一页，共二十五页，2022年，8月28日 (1)纳米薄膜的制备方法 (ⅰ)液相法 (a)溶胶-凝胶法．该方法制备纳米薄膜的基本步骤如下：首先用金属无机盐或有机金属化合物制备溶胶，然后将衬底(如SiO2玻璃衬底等)浸入溶胶后以一定速度进行提拉，结果溶胶附着在衬底上，经一定温加热后即得到纳米微粒的膜．膜的厚度控制可通过提拉次数来控制。 (b)电沉积法．一般Ⅱ-Ⅵ族半导体薄膜可用此法制备。 第二页，共二十五页，2022年，8月28日 (1)纳米薄膜的制备方法 (ⅱ)气相法 (a)高速超微粒子沉积法(气体沉积法)． 基本原理是：用蒸发或溅射等方法获得超微粒子，用一定气压的惰性气体作载流气体，通过喷嘴，在基板上沉积成膜． 第三页，共二十五页，2022年，8月28日 (a)高速超微粒子沉积法 美国喷气制造公司采用该工艺成功地制备出纳米多层膜，陶瓷-有机膜、颗粒膜等．右图是他们采用气体沉积法中的多喷嘴，转动衬底制备微粒的示意图。 第四页，共二十五页，2022年，8月28日 (a)高速超微粒子沉积法 日本真空冶金公司的Seichio Kashu等人用的设备如右图所示．他们用此方法制备了各种金属纳米薄膜． 第五页，共二十五页，2022年，8月28日 (b)直接沉积法 是当前制备纳米薄膜普遍采用的方法， 基本原理：把纳米粒子直接沉淀在低温基片上． 制备方法主要有三种：惰性气体蒸