原创力文档- 7
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- 2023-08-26 发布于四川
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本发明涉及半导体外延设备领域内的一种液态源鼓泡器，包括筒体、进气管、出气管、液体加注管以及气泡分布器；筒体为密封的柱型筒体，进气管的一端自筒体的顶板进入并延伸至靠近筒体的底板处，气泡分布器位于进气管的出气口上方，液体加注管的一端自筒体的顶板进入筒体内，出气管的一端与筒体的顶板上的通孔密封连接；液体经液体加注管加入筒体内，气体通过出气口进入筒体内并形成气泡，上移的气泡穿过气泡分布器后气泡沿筒体的径向方向扩散且粘连的气泡被分离，经扩散与分离的气泡上移并通过出气管通入外部反应装置。本发明通过气泡分布器
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115121139 A
(43)申请公布日 2022.09.30
(21)申请号 202210320150.5
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 上海良薇机电工程有
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