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sige异质结调度技术的发展与应用 0 sige异质结晶体技术的应用 近年来，随着全球通信产业的快速发展，信息技术的不断进步已经成为通信行业的热点。高频、低频、低噪声、小体积、多功能和低价格已成为通信行业的中心热点。开发商迫切需要高性能的廉价器件及电路以满足通信市场的发展需求。而以能带工程为基础的SiGe异质结晶体管技术,迎合通信市场的发展,展现了广阔的应用前景。 SiGe异质结晶体管技术,即以传统的Si基晶体管技术为基础,实现SiGe异质结晶体管及其集成电路的设计制造。与传统的Si基晶体管技术相比,基于SiGe异质结晶体管技术的器件及电路具有更好的频率及噪声特性,展现了良好的微波高频段工作潜力;而与GaAs、InP技术产品相比,SiGe异质结晶体管技术产品又具有成本低、导热性好等优点,特别是可与成熟的CMOS技术相兼容,生产灵活性更强。所以,自SiGe异质结晶体管技术产生以来,便受到广泛关注,各国对其研究不断加深,推动了SiGe异质结晶体管技术的迅猛发展。 1 sige外延层的制备 早在20世纪60年代,国外就开始了SiGe异质结晶体管技术的研究,当时的技术主要是针对SiGe材料特性及其外延技术。如何得到高质量的SiGe外延层成为当时研究的关键。正是基于此目的,SiGe外延层的质量随着SiGe外延技术的发展不断提高,SiGe外延技术发展至今,逐渐形成了几种典型的外延技术:分子束