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pz薄膜材料在热释电领域的研究进展 1 热释电红外探测的发展历程 1938年，ta提出了热释电效应作为辐射勘探的原理，并提议使用少量电气石晶体制作红外探测器。20世纪50年代，罗塞利用硫酸钠和酒石酸钾制作了热释电红外探测器。1973年，chynoneth用动态方法测量了发热科学和物理性能，指出热释电晶体只对温度的变化率做出了响应，并说明了在探测高速变化的红外辐射的可能性。这是20世纪60年代热释物理在这一领域的研究和开发奠定了基础。196年，copp系统分析了热释电红外探测器的最小探测频率，并输出了电压响应的公式。1973年，用三甘醇硫酸银杏石研究开发的热释电仪性能达到了一个新的水平，促进了热释电仪的实际应用。此外，由于激光和红外色度成像技术的发展，需要找到一种新的红外勘探方法，如工业、医疗等。在测量大气污染时，需要测量区域内的陆地和海洋温度，这些设备必须使用小型和高性能的红外辐射探测器。近年来，由于热释电材料的研究和开发，热释电探测器在红外勘探中表现出了高灵敏度、快速响应、宽光谱、室温工作等优点，促进了热释电探测器及其阵列的开发。 2 pzt厚膜材料的研究 2.1 pbtio3厚膜材料的热释电性能 锆钛酸铅Pb(Zr1-xTix)O3(以下简写为PZT)是典型的ABO3钙钛矿结构.PZT有着优异的铁电介电性能,比较高的居里温度,高的介电常数和电阻率.由于Ti4+的离子半径(0.