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介质阻挡放电在杀菌及薄膜沉积中的光谱分析和机理研究的中期报告 本次研究主要探讨了介质阻挡放电在杀菌及薄膜沉积中的光谱分析和机理研究的中期报告。 介质阻挡放电是一种通过放电产生的等离子体反应区域中的化学反应，使得气体中的分子、化学键和元素产生变化的技术。在杀菌和薄膜沉积中，介质阻挡放电被广泛应用。 在杀菌方面，我们发现介质阻挡放电的波长范围主要在紫外光和可见光之间，尤其是在245nm附近的波长范围内具有较强的杀菌效果。从机理上来看，产生大量的自由基和臭氧是介质阻挡放电杀菌的主要原因之一。 在薄膜沉积方面，我们通过使用不同的前驱体和反应气氛探究了不同条件下介质阻挡放电产生氧化物薄膜的情况。我们发现，氧化物薄膜的厚度和品质与反应气氛、前驱体浓度和介质阻挡放电功率有关。我们同时也进一步研究了氧化物薄膜的物理性质和光学性质，并对其生产工艺提出一些建议。 综上所述，介质阻挡放电在杀菌和薄膜沉积方面的应用前景广阔。我们将进一步研究介质阻挡放电的机理和优化其在不同应用场景下的工艺参数，以提高其杀菌和薄膜沉积效率。