CN113402261A一种IZO靶材前驱体及其制备方法与应用.pdfVIP

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  • 2023-09-15 发布于云南
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CN113402261A一种IZO靶材前驱体及其制备方法与应用.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113402261 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110625158.8 (22)申请日 2021.06.04 (71)申请人 长沙壹纳光电材料有限公司 地址 410000 湖南省长沙市金洲新区澳洲 路068号 (72)发明人 陈明飞 刘永成 郭梓旋 徐胜利  王志杰 江长久 陈明高  (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 代理人 肖云 (51)Int.Cl. C04B 35/01 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) H0

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