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一种半导体芯片加工用固定机构.pdfVIP

一种半导体芯片加工用固定机构.pdf

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    本实用新型涉及半导体芯片加工技术领域，公开了一种半导体芯片加工用固定机构，包括固定底板，固定底板上端两侧设有燕尾槽，燕尾槽内部通过梯形块安装活塞柱，活塞柱上端安装活塞板，活塞板外侧安装活塞筒，活塞筒上端安装U型架，U型架上端安装吸盘，吸盘与活塞板下端的活塞筒区域之间安装通气管，活塞板上端与活塞筒顶端内壁之间安装复位弹簧，U型架内侧分别安装有左旋螺杆和右旋螺杆，左旋螺杆和右旋螺杆之间安装螺纹筒，U型架外侧中部安装L型架。本实用新型，实现了对半导体芯片加工时的左右距离的夹紧调节，同时设置活塞筒与吸盘

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210489592 U (45)授权公告日 2020.05.08 (21)申请号 20192

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