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可降低红外反射的图像传感器.pdfVIP

可降低红外反射的图像传感器.pdf

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    本实用新型提供一种可降低红外反射的图像传感器，包括半导体衬底，夹层绝缘层，第一氧化层，第一抗反射涂层，平坦层以及微透镜。所述半导体衬底包括像素区域和隔离区域，所述像素区域包括光电转换部分和电荷转移部分；所述夹层绝缘层设置在所述半导体衬底的正面，其上设置有金属布线结构；所述第一氧化层，设置在所述半导体衬底的背面；第一抗反射涂层，设置在所述第一氧化层上；所述平坦层设置在所述第一抗反射涂层上，用于平坦化所述第一抗反射涂层的表面；所述微透镜设置在所述平坦层上，用于聚集入射光线。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210489617 U (45)授权公告日 2020.05.08 (21)申请号 20192

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