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T_GDASE 0008—2020 石墨烯薄膜杨氏模量的测定 原子力显微镜法.pdf

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ICS 19 A 21 团 体 标 准 T/GDASE 0008—2020 石墨烯薄膜杨氏模量的测定 原子力显微镜法 Determination ofYoungsmodulusofgraphenefilm 06 2020-06-01发布 2020- -01实施 广东省特种设备行业协会 发 布 T/GDASE 0008—2020 石墨烯薄膜杨氏模量的测定 原子力显微镜法 1 范围 本标准规定了测定石墨烯薄膜的杨氏模量的原子力显微镜法。 本标准适用于固定于衬底上杨氏模量值小于100GPa的石墨烯薄膜杨氏模量的测定试验,并且包含 衬底内其样品总高度不大于5mm,其他石墨烯膜材料的测定可参照执行。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法 JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范 JY/T002-1996 激光喇曼光谱分析方法通则 Q/GZSPEI 30201100226 石墨烯粉体缺陷程度的测定 激光显微共焦拉曼光谱法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 DMT 杨氏模量 DMT fittedYoung’smodulus 使用德贾吉恩-穆勒-托罗波夫 (Derjaguin-Muller-Toropov)模型对力曲线进行拟合分析计算所得的 杨氏模量。 3.2 力曲线 forcecurve 探针的悬臂所受的外力与悬臂弯曲量之间的关系曲线,曲线的纵坐标为拉力,横坐标为弯曲量。 3.3 泊松比 poisson’sratio 材料受拉伸或压缩力时发生变形,其横向变形量与纵向变形量的比值。 3.4 追溯曲线 tracecurve 原子力显微镜扫描材料表面形貌的过程中,追溯材料表面高低起伏的变化进行扫描,接受材料表面 高低起伏变化反馈的信号形成的曲线。 1 T/GDASE 0008—2020 3.5 折回曲线 retracecurve 原子力显微镜扫描材料表面形貌的过程中,经追溯材料表面高低起伏的变化进行扫描后,沿相同的 路径折回扫描,由材料表面高低起伏变化反馈的信号形成的曲线。 3.6 石墨烯薄膜 graphene film 由石墨烯与其支撑层材料构成的薄膜。 4 原理 材料固定于原子力显微镜的样品台上,控制探针作用在材料表面的作用力,记录探针形变反馈的信 号并获得定量力曲线。通过DMT模型对力曲线进行拟合分析计算,从而获得材料的杨氏模量。 5 试验仪器与设备 5.1 原子力显微镜 5.1.1 横向分辨力≥0.1nm,纵向分辨力≥0.01nm。 5.1.2 样品台:直径≥1cm,样品台与探针的最小距离≥1cm。 5.1.3 具备样品固定系统,可通过负压或磁性等方式固定样品。 5.2 等离子体清洗仪 5.2.1 产生持续稳定的等离子体。 5.2.2 产生等离子体的气体源:允许包括高纯氮气或高纯氩气。 5.2.3 等离子体清洗的清洗时间≥8min。 5.2.4 可调节的功率下限≤5W。 6 试样 6.1 试样要求 6.1.1 试样经等离子体清洗仪,以5W 的功率,高纯氮气作为气源产生等离子体清洗表面5min~8min 至样品无被破坏的前提下表面无明显的污染物。 注1:判定试样是否受等离子体破坏的方法:按Q/GZSPEI 30201100226检测清洗前后试样的缺陷 程度的变化,如清洗前后试验结果之间的差异不超过

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