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低相干光干涉法测量信号延时量 1 傅里叶变换低相干光干涉测量法 低相位干光干预法用于测量光学设备的延迟、色散和长度等参数。结构简单，成本低，精度高。基于低相干光干涉的测量方法之一是利用傅里叶变换提取低相干光干涉信号的频域信息,再通过适当处理得到待测参数。1979年J.R.Birth等曾详细阐述傅里叶变换低相干光干涉测量法的原理。之后从1987～2010年,该方法不断被用于各种光学器件参数的测量[3\～10]。测量实验中,噪声与误差是最关键的问题,但目前针对低相干光干涉系统中噪声和误差的分析却非常少。仅在1992年,W.V.Sorin等证明减小参考臂光束强度可提高干涉信号的信噪比。1998年Kazumasa导出该系统中噪声谱密度公式并分析了偏振对测量的影响。本文分析了低相干光干涉法延时测量数据处理过程中的误差传递关系,研究了实验中存在的各种噪声对延时测量误差的影响,并指出测量中误差的主要来源。 2 宽谱光干涉信号的测量 图1为基于低相干光干涉法测量光学器件延时的示意图。宽谱光经耦合器后分成两束,一束为信号光,通过待测器件,另一束为参考光,经准直器进入空间光路,经置于移动平台上的角锥棱角反射后原路返回。当两路光光程差小于相干长度时会发生干涉,改变移动平台位置可得到干涉信号I(x),其中x为两路光的光程差。I(x)可表达为 Ι(x)=Ι0Re{+∞∫-∞G(ω)exp[i?(ω)]exp(-iωx/c)dω},(1)I(x)=I0Re?????∫?∞+∞G(ω)exp[i?(ω)]exp(?iωx/c)dω?????,(1) 式中G(ω)为光源光谱,?(ω)为宽谱光通过两路后的相位差,I0是一个常数,c为真空中光速。根据傅里叶变换性质,可得 ?(ω)=arctan{F[Ι(x)]}.(2)?(ω)=arctan{F[I(x)]}.(2) 设宽谱光通过待测器件后群延时为t(ω),根据定义可得 t(ω)=d?(ω)dω.(3)t(ω)=d?(ω)dω.(3) 实验中,需要用He-Ne激光干涉作刻度校准以获得等距离间隔的干涉信号。测量中同步采集宽谱光干涉信号与He-Ne激光干涉信号,筛选出He-Ne激光干涉信号过零点,取相应位置宽谱光干涉点为有效数据点,则各采样点之间空间距离都为Δx=λHe-Ne/2。实验中利用平衡探测器采集宽谱光干涉信号,可降低由宽谱光强不稳定引入的噪声。对干涉数据进行傅里叶变换,并求出光波长所对应各频率点的相位值。由于反正切函数的性质,求得的相位值范围在[-π,π]内,需对其进行相位展开,得到连续变化的相位曲线。相位曲线经多项式拟合算法平滑后再对频率求导即可求得待测器件相对延时曲线。 3 误差沟通关系 3.1 干涉信号幅度的仿真计算 傅里叶变换过程中的误差传递关系曾被详细研究过,此处可直接利用其结论。设噪声强度均方根为Un,相位误差Uφ(k)可表达为 U2φ(k)=U2n2ΝΜ2(k),(k≠0)(4)U2φ(k)=U2n2NM2(k),(k≠0)(4) 式中频域幅度值M(k)与信号强度及数据长度N都有关系,令UI表示干涉信号幅度,则相位误差均方根为 Uφ(k)=UΙ√2ΝΜ2(k)?UnUΙ,(5)Uφ(k)=UI2NM2(k)√?UnUI,(5) 式中Un/UI是噪声强度与干涉信号强度的比值。在光源性质以及待测器件延时量确定的情况下,系数UΙ/√2ΝΜ2(k)UI/2NM2(k)????????√是一个常数。在理想宽谱光源情况下,令待测器件在1540～1560 nm波段相对延时大小为300 ps,仿真计算得到系数大小约为1/3。 图2为仿真计算得到的相位误差与强度噪声之间的关系,可见仿真计算与理论分析符合得很好。仿真计算中,使用高斯分布型的强度噪声, 产生的相位误差分布如图3所示,可见高斯型强度噪声产生的相位误差也服从高斯分布。 3.2 延迟误差与阶段误差之间的关系 3.2.1 拟合频率及拟合条件 由于噪声影响,为提高测量精度,求得的相位展开曲线需经过多项式拟合之后才可以求相对延时。拟合曲线求导所得延时曲线的精度与待拟合数据的长度有关,即与干涉信号频域信息中的宽谱光所相应频率点数有关。数据处理过程中(2)式的傅里叶变换对为干涉信号空间位置x与宽谱光空间频率ω/c,信号采样点间空间距离Δx=λHe-Ne/2。设采样点数为N,根据傅里叶变换性质,频域相邻点之间角频率间隔为4πc/(NλHe-Ne)。则波长为λ的光波对应的频率点次序为NλHe-Ne/(2λ)。当宽谱光波长范围为[λ1,λ2],宽谱光所对应频率点数或有效频率点数n可表达为 n=(ΝλΗe-Νe2λ1)-(ΝλΗe-Νe2λ2).(6)n=(NλHe?Ne2λ1)?(NλHe?Ne2λ2).(6) 用y表示求得各频率点相位值,对其做三次多项式拟合 y=b