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300mm400mm500mm三轴铣削铣床的研制 20世纪80年代，基于硅半夏制造技术的sso技术引起了人们对细加工的关注。为了获得结构复杂、材料适应性强的小零件，需要进行各种精细加工技术，如颗粒加工、liga加工（小型铸造工艺）和薄火加工（sd）。这些新技术的出现，使一些新产品，如微gps、微小型计算机、微小型电机等发展和更新。近年来，通过传统的加工方法研究精细零件的自主应用越来越受到重视。所谓的精细加工工艺尺寸为10.10000m的mess-m特征尺寸的细加工制造成为一个巨大的研究热点。因为它具有控制任何三维特征的优点。可以加工各种材料。然而，细加工加工设备主要采用常规尺寸的精度和超精加工机，这对生产微尺寸零件没有必要的灵活性，成本高、效率低。自20世纪90年代中期以来，日本、欧洲、美国和其他发达国家从简化空间和提高加工精度的角度开展了小型和中型零件加工机的小型和中型加工机。此外，小型和中型零件的加工和加工需要大量的灵活性和简单的方法。因此，表面工厂、小型车间和便携式工厂的新概念层出不穷。 针对微细切削加工,本文介绍了一台自主构建的小型超精密数控铣床,其本体尺寸为300mm×400mm×500mm,xyz工作空间尺寸为50mm×50mm×20mm,主轴最高转速9×104r/min,数控三轴联动可实现三维复杂形面微细加工,全闭环反馈控制结合误差补偿技术最终可实现亚微米级加工精度. 1 结构设计及系统配置 为确保各坐标轴正常工作及运动稳定性,结构设计及系统配置主要遵循以下原则:高的结构刚度;优良的阻尼特性;几何外形影响;热变形影响;外界环境因素影响等. 1.1 z工作台布置 采用立式三坐标结构,包括在水平方向上的x,y二维工作台和垂直布置的z工作台,高速铣削主轴布置在z轴上.机床本体尺寸为:y向300mm、x向400mm、z向500mm,工作空间为50mm×50mm×20mm,图1给出了机床本体装配示意图. 1.2 高速高效运动机构设计 关键零部件(主轴部件、伺服驱动、运动控制部件及监测系统等)的选择及精度是实现微细切削加工的先决条件,具体配置如下: 1) 主轴及驱动系统 主轴是超精密机床的关键部件,其运动误差特性直接影响零件的表面质量和精度,同时为满足微细切削所需的切削线速度,主轴应具有很高转速.通过计算,主轴跳动应在0.1μm以内,且至少应具有5×104r/min以上的转速(如对直径0.1mm的球头铣刀).电主轴是近些年数控机床领域出现的将机床主轴与主轴电机融为一体的新技术,所具有的高速轴承技术、内装式直接驱动技术、高速动平衡技术及高频变频装置能够实现高速高精加工.常用的超精密机床主轴为气体静压或液体静压主轴,其二者均具有高的运动精度和转速.考虑到空气静压轴承具有转动平稳、回转精度高、高速转动温升小等特点,尽管其刚度稍低,结合本课题的具体应用场合,决定采用高精度空气静压轴承高速电主轴.其最高转速可达9×104r/min,径向跳动量小于0.5μm. 2) 导轨及驱动装置 导轨采用超精密交叉滚柱支承的滑台(见图2),其优点为刚性好,动作灵敏,不易引起振动,适于空间尺寸小,承受颠覆力矩的场合,该导轨直线度为±0.1μm/25mm.承载工作台的两水平进给轴采用永磁直线电机直接驱动,并配置最高分辨率为0.05μm的光栅尺作为全闭环数控系统位置反馈装置.直线电机进给伺服驱动技术的优点是能够实现瞬时加、减速及高速准停运动;减少了中间环节,传动刚度好,有效地提高了传动精度及可靠性,图3为双边永磁直线电机构造及基本工作原理. 3) 在线监测系统 刀具在工件表面的快速精确定位、切削力的精确测定、转速或进给量的测定及加工过程的可视化是微细加工的必备条件.同时,微细加工和装配过程中应尽量避免人为的介入和外界因素的影响,一般采用非接触式无损测量.光电图像检测技术是一种理想的方法,其核心元件是CCD摄像机,它可以在微细加工中对微细加工过程实时监控、作为微装配过程的观察和测量手段以及对零件三维几何尺寸进行测量,如图4所示. 2 采用全闭环控制方式 机床进给机构的伺服控制特性直接影响着微细加工工艺及加工质量.为了最大限度地减小或消除几何误差、传动机构非线性及振动等不利因素对加工精度的影响,采用了全闭环控制方式;并结合运动控制器自身特点,在传统的PID控制的基础上开发了速度/加速度前馈+馅波滤波等控制环算法,其中,速度前馈用于减小由于微分增益的引入所引起的跟随误差,加速度前馈可以减小系统惯性所带来的跟随误差,陷波滤波器主要用于由于系统存在滞后、静摩擦、卷曲及回差等问题使系统产生机械谐振而破坏系统的特性;以及通过对误差的测量及数控补偿机制,进一步优化了控制精度. 1 数控系统硬件结构设计 采用上位机+下位机的开放式数控系统,可实现多轴数控联动加工的要求.数