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电特性参数检查装置、电特性参数检查方法及记录介质.pdfVIP

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  • 2023-10-18 发布于四川
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电特性参数检查装置、电特性参数检查方法及记录介质.pdf

    本发明公开了电特性参数检查装置、电特性参数检查方法及记录介质，其能够不进行电极的机械扫描而短时间且高精度地检查广范围的对象。该电特性参数检查装置(1)具备：多个传感器，被配置于对象物；选择部(111)，选择多个由多个传感器中的两个以上的传感器的传感器对构成的规定的选择图案；测量部(113)，按照每个选择图案计测从所述选择图案所包括的传感器输出的电特性参数；以及解析部(114)，对按照每个所述选择图案而计测出的所述电特性参数进行解析。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116893202 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310344999.0 (22)申请日 2023.03.31 (30)优先权数据 2022-058147 202

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