高温SQUID芯片测试平台研制.pdfVIP

分类号：O469 密级：公开 学校代码：11065 学号：2019025150 专业硕士学位论文 （统招全日制） 高温SQUID 芯片测试平台研制 作者姓名 黄一聪 指导教师 李山东 教授 专业领域 材料工程 培养单位 物理科学学院 答辩日期 2022 年6 月6 日 万方数据 摘要 超导量子干涉器件（SQUID）是当前已知的最为灵敏的磁传感器之一，能够将极其 微小的磁场变化转变为可以测得的电压信号，具有低噪声、高灵敏度、结构稳定等特 点。以它为基础可以制造出多种测量仪器，被广泛用于生物医学、地质勘探和深海探测 等领域。基于临界转变温度，SQUID 可以分为低温SQUID 和高温SQUID，低温SQUID 一般工作在液氦环境（4.2 K ）中，由于维持低温环境的技术复杂且成本昂贵，因此极 大地限制了低温SQUID 的应用。而高温SQUID 可以在更高温度的液氮环境（77 K ） 中工作，大幅降低了使用成本，并且提高了便携性，能够实现在更多领域的应用。 本文基于SQUID 的基本工作原理，开展了高温SQUID 芯片测试平台的研究，取 得的创新如下： 首先，利用Pspice 电路仿真软件对DC SQUID 进行了仿真建模，探究了偏置电流、 结电阻以及不对称性对DC SQUID 特性的影响。仿真结果表明，为了获得最大的输出 电压摆幅，从而提高工作点的斜率，应当选择合适的偏置电流和结电阻。而不对称性会 显著降低DC SQUID 的最大磁通转换系数，因此在制造过程中应尽量避免。 其次，通过Auto CAD、Solidworks、Altium Designer 等设计软件对高温SQUID 芯 片测试平台的硬件进行了综合设计，测试平台的硬件主要包括机械控制模块、液氮低 温模块、低通滤波器模块以及数据采集模块。为了获得洁净的电磁环境，避免外界电磁 干扰，特别对液氮低温模块中的磁屏蔽装置进行了退火热处理，大幅地提高了其磁屏 蔽的能力。 最后，通过LabVIEW 程序开发环境对高温SQUID 芯片测试平台进行了软件设计， 测量程序包括：临界转变温度测量、临界电流测量、SQUID 电性能综合测量以及磁通 电压调制曲线测量。测试平台研制完成后，对高温SQUID 进行了性能参数的测量，测 量结果显示构成高温 SQUID 的超导薄膜的临界转变温度约为 90 K ，临界电流密度为 2.5 MA/cm2 ，高温SQUID 的最大磁通电压转换系数α =6.42×10-4 Φ /mV 。 max 0 关键词：超导量子干涉器件；PSpice；临界转变温度；磁通转换系数 万方数据 Abstract Superconducting Quantum Interference Devices (SQUID) is one of the most sensitive magnetic sensors, capable of transforming extremely s