扫描电子显微镜SEM.pptVIP

与普通显微镜的差别 本文档共87页；当前第31页；编辑于星期二\2点3分 问题 扫描电子显微镜主要的组成部分有哪些？ 每部分的作用？ 使用SEM时，哪些参数最关键？ 本文档共87页；当前第32页；编辑于星期二\2点3分 扫描电子显微镜工作原理及构造 本文档共87页；当前第33页；编辑于星期二\2点3分 本文档共87页；当前第34页；编辑于星期二\2点3分 扫描电子显微镜构造 电子光学系统(镜筒) 偏转系统 信号检测放大系统 图像显示和记录系统 电源系统 和真空系统等部分组成 本文档共87页；当前第35页；编辑于星期二\2点3分 电子光学系统 由电子枪、电磁聚光镜、光栏、样品室等部件组成。 作用：获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。 本文档共87页；当前第36页；编辑于星期二\2点3分 本文档共87页；当前第37页；编辑于星期二\2点3分 电子源 本文档共87页；当前第38页；编辑于星期二\2点3分 本文档共87页；当前第39页；编辑于星期二\2点3分 电子枪是电子束的产生系统，图2是热发射电子枪的构造图。将细（0.1 mm左右）钨丝做成的灯丝（阴极）进行高温加热（2800K左右）后，会发射热电子，此时给相向设置的金属板（阳极）加以正高圧（1～30kV），热电子会汇集成电子束流向阳极，若在阳极中央开一个孔，电子束会通过这个孔流出，在阴极和阳极之间，设置电极并加以负电圧，能够调整电子束的电流量，在这个电极（被称为韦氏极）的作用下，电子束被细聚焦，最细之处被称为交叉点（Crossover)，成为实际的光源(电子源)，其直径为15～20μm。 本文档共87页；当前第40页；编辑于星期二\2点3分 本文档共87页；当前第41页；编辑于星期二\2点3分 本文档共87页；当前第42页；编辑于星期二\2点3分 本文档共87页；当前第43页；编辑于星期二\2点3分 本文档共87页；当前第44页；编辑于星期二\2点3分 高分辨率SEM使用的电子枪是场发射电子枪（Field Emission Electron Gun：FE电子枪）。它利用的是在金属表面加以强电场时所产生的场发射现象，实际的结构见图，阴极用细钨丝制成，在钨丝上焊接相同的单晶钨，其尖端曲率半径为100 nm左右，被称为发射体，在发射体对面设置的金属板（引出电极）上施加数kV的正电圧时，由于隧道效应，从发射体中就会发射电子，如果在金属板（引出电极）的中央处开一小孔，电子束会从孔中流出，因此在其下方设置的电极（加速电极）上加以电圧，就能够获得一定能量的电子束，为了产生场发射现象，发射体的尖端必须保持清洁，需要设置在10-８Pa左右的超高真空中。 本文档共87页；当前第45页；编辑于星期二\2点3分 本文档共87页；当前第46页；编辑于星期二\2点3分 3肖特基发射电子枪 本文档共87页；当前第47页；编辑于星期二\2点3分 本文档共87页；当前第48页；编辑于星期二\2点3分 是利用在加热的金属表面外加高电场产生的肖特基（Schottky emission）效应的电子枪，结构如图所示，阴极（发射体）是ZrO/W，采用尖端曲率半径为几百nm的钨单晶体，并镀上了ZrO覆盖层，ZrO覆盖层大大地降低了功函数，因而在1800K左右较低阴极温度下能发射很大的电流，如图31所示，为了屏蔽从发射体中发射出热电子，在被叫做抑制电极的电极上加负电圧。由于肖特基发射电子枪部分设置在10-7Pa左右的超高真空中，发射体能保持高温，不吸附气体，因此具有电子束流稳定度高的特点。 与场发射电子枪相比，肖特基发射电子枪的电子束能量发散度稍大，但能获取大的探针电流，这一特点适合于在观察形貌的同时进行各种分析，这种电子枪有时也因为方便被称作热阴极场发射电子枪或热场发射电子枪。 本文档共87页；当前第49页；编辑于星期二\2点3分 电子枪性能比较 本文档共87页；当前第50页；编辑于星期二\2点3分 电磁透镜 在电子枪的后方设置透镜，能够调节电子束的直径。SEM需要很细的电子束。图中，在电子枪的后方设置了聚光镜和物镜的两级透镜，从电子枪中发射出的电子束经过两级透镜的聚焦形成电子探针。增强聚光镜的透镜作用，电子探针以b/a的比例变细，如果减弱的话，电子探针则变粗。此外，在聚光镜与物镜之间，设置开了小孔的薄金属板即“光阑”。通过聚光镜的电子束撞到光阑后，有一部分的电子束能通过小孔到达物镜。增大聚光镜的励磁电流，光阑上的电子束会大大地发散开来，只有一小部分的电子束能通过，所以到达物镜的电子数（包括探针电流）将会减少。相反，减弱聚光镜的励磁电流，光阑上的电子束并不会发生很大的发散，大部分的电子束通过光阑，到达物镜的电子数很多。也就是说，调节聚光镜的励磁电流可以改变电子探针的直径和探针电流。 本文档共