GB/T 25915.2-2021洁净室及相关受控环境　第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测.pdf

ICS CCS 13. 040.35 C 70 中 华 人 民 共 和 GB/T 国 国 家 标 准 25915.2— 2021/ISO14644-2:2015 代替 GB/T25915.2— 2010 洁净室及相关受控环境 第 2部分 :洁净室空气粒子浓度的监测 Cleanroomsand associated controlled environments— Part2: Monitoringto provideevidenceofcleanroom performancerelated to air cleanlinessbyparticleconcentration (ISO14644-2:2015, IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发 布 Ⅰ GB/T 25915.2— 2021/ISO14644-2:2015 目 次 前言 Ⅲ 引言 Ⅴ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 监测计划的制定 、执行及持续改进 2 5 按粒子浓度定期划分空气洁净度 3 附录 A(资料性) 制定监测计划考虑事项 4 附录 B(资料性) 设定预警值和干预值的考虑事项