GB/T 25915.9-2018洁净室及相关受控环境　第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级.pdf

ICS 13.040.35 C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.9—2018/ISO 14644-9:2012 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments— Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012,IDT) 2018-06-07 发布 2018-10-01 实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 中国国家标准化管理委员会 发 布 I GB/T 25915.9—2018/ISO 14644-9:2012 目 次 前言 Ⅲ 引言 IV 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 缩略语 2 5 分级体系 2 6 符合性的证实 5 附录 A (资料性附录)表面特性 7 附录 B (资料性附录)特定粒径范围描述符 10 附录 C (资料性附录)影响 SCP 分级的参数 12 附录 D (资料性附录)按粒子浓度确定表面洁净度的测量方法 14 参考文献