GB/T 25915.13-2022洁净室及相关受控环境　第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf

ICS 13.040.35 CCS C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.13—2022/ISO 14644-13:2017 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度 要求的表面清洁 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13:Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications (ISO 14644-13:2017,IDT) 2022-12-30发布2 0 2 3 - 0 7 - 0 1 实 施 2022-12-30发布 发 发 布 国家标准化管理委员会 GB/ T 25915.13—2022/ISO 14644-13:2017 目 次 前言 I 引言 Ⅱ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 2 4 一般方法 3 5 对象描述 4 6 洁净度要求 5 7 初始污染水平的测定 5 8 其他要求 6 9 清洁方法的选择 6 10 材料相容性