GB/T 25915.12-2021洁净室及相关受控环境　第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求.pdf

ICS CCS 13. 040.35 C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T25915. 12— 2021/ISO14644-12:2018 洁净室及相关受控环境 第 12部分 : 监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 Cleanroomsand associated controlled environments— Part12: Specificationsfor monitoring ofaircleanlinessby nanoscaleparticleconcentration (ISO14644-12:2018, IDT) 2021-10-11发布 2022-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发 布 GB/T 25915. 12— 2021/ISO14644-12:2018 目 次 前言 Ⅰ 引言 Ⅱ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 监测 3 5 检测报告 3 附录 A(资料性) 以凝结粒子计数器进行监测的参照方法 5 附录 B(资料性) 粒子计数效率和分割粒径 8 参考文献 10 Ⅰ GB/T 25915. 12— 2021/ISO146