GB/T 25915.10-2021洁净室及相关受控环境　第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf

ICS CCS 13. 040.35 C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T25915. 10— 2021/ISO 14644-10:2013 洁净室及相关受控环境 第 10部分 : 按化学物浓度划分表面洁净度等级 Cleanroomsand associated controlled environments— Part10:Classification ofsurfacecleanlinessby chemicalconcentration (ISO14644-10:2013,IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发 布 Ⅰ GB/T 25915. 10— 2021/ISO 14644-10:2013 目 次 前言 Ⅲ 引言 Ⅳ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 分级 2 5 化学污染的表面洁净度检测/测量 、监测及符合性证明 4 附录 A(资料性) 表面化学物各种浓度的换算 6 附录 B(资料性) 影响测试与结果的因素 12 附录 C(资料性) 洁净度评定的基本要素 13 附录 D(资料性) 按化