GB/T 25915.6-2010洁净室及相关受控环境　第6部分：词汇.pdf

ICS 01.040.13;13.040.35 C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.6—2010/ISO 14644-6:2007 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇 Cleanrooms and associated controlled environments— Part 6:Vocabulary (ISO 14644-6:2007,IDT) 2011-01-14发布 2011-05-01 实施 发 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 I GB/T 25915.6—2010/ISO 14644-6:2007 目 次 前言 Ⅲ 引言 IV 1 范围 1 2 术语和定义 1 参考文献 17 索引 18 Ⅲ GB/T 25915.6—2010/ISO 14644-6:2007 前 言 GB/T 25915《洁净室及相关受控环境》包含八个部分： ——第1部分：空气洁净度等级； ——第2部分：证实持续符合GB/T25915.1 的检测与监测技术要求； ——第3部分：检测方法； ——第4部分：设计、建造、启动； ——第5部分：运行； ——第6部分：词汇； ——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境); ——第8部分：空气分子污染分级。 本部分是 GB/T