GB/T 25915.8-2021洁净室及相关受控环境　第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级.pdf

ICS CCS 13. 040.35 C 70 中 华 人 民 共 和 GB/T 国 国 家 标 准 25915. 8— 2021/ISO14644-8:2013 代替 GB/T25915. 8— 2010 洁净室及相关受控环境 第 8部分 :按化学物浓度划分空气洁净度 (ACC) 等级 Cleanroomsand associated controlled environments— Part8:Classification ofaircleanlinessby chemicalconcentration(ACC) (ISO14644-8:2013,IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发 布 GB/T 25915. 8— 2021/ISO14644-8:2013 目 次 前言 Ⅰ 引言 Ⅲ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 分级 3 5 合格性的证明 5 附录 A(资料性) 影响 ACC的因素 6 附录 B(资料性) 常见污染物 9 附录 C(资料性) 常用测量方法 12 附录 D(资料性) 隔离装置的特殊要求