GB/T 25915.5-2010洁净室及相关受控环境　第5部分:运行.pdf

ICS 13.040.35 C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.5—2010/ISO 14644-5:2004 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行 Cleanrooms and associated controlled environments— Part 5:Operations (ISO 14644-5:2004,IDT) 2011-01-14发布 2011-05-01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布 GB/ T 25915.5—2010/ISO 14644-5:2004 目 次 前言 I 引言 Ⅱ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 技术要求 3 附录 A (资料性附录) 运行体系 5 附录 B (资料性附录) 洁净服 10 附录 C (资料性附录) 人员 14 附录 D(资料性附录) 固定设备 17 附录 E (资料性附录) 材料和便携设备 20 附录 F (资料性附录) 洁净室的清洁 26 参考文献 34 I GB/T 25915.5—2010/ISO 14644-5:2004 前 言 GB/T 25915《洁净室及相关