压阻式触觉传感器对法向力和剪切力的检测.pdfVIP

110 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 2018年 第37卷 第3期 ? 、 、 、 DOI：10．13873／J．1000-9787(2018)03-0110-02 计算与测试 、 压阻式触觉传感器对法向力和剪切力的检测 许玉杰 ，孙 英 ，尹泽楠 (河北省电磁场与电器可靠性重点实验室 河北工业大学，天津300130) 摘 要：灵活的触觉传感器应该具有像皮肤一样的功能，能够检测施加力的大小和方向。改进的压阻式 触觉传感器 ，主要由中心芯和4个侧壁组成，法向力和剪切力的感测元件不同。将压阻式触觉传感器嵌入 到一个聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性体中，以实现力的柔性检{见4。通过仿真分析，得到此种触觉传感器对 法向力的检测范围为600Pa-65kPa，可测得的最小剪切力为900Pa。通过进一步分析，得到施加法向力和 剪切力时法向力感测元件阻值的变化曲线 ，可得此种触觉传感器能够有效降低法向力感测元件与剪切力 感测元件之间的干扰。所开发的触觉传感器可以灵活检测施加的法向力和剪切力 ，可应用于机器人手臂 和假肢上。 关键词：触觉传感器 ；压阻式；法向力；剪切力 中图分类号：TP212．9 文献标识码：A 文章编号 ：1000-9787(2018)03-0110-02 Detecti0n ofnormaland shearforcewith ■ ■ ■ ■ J ‘’ DleZ0reSlStlVe tactile SenS0r XUYu-jie，SUNYing，YINZe-nan (KeyLaboratoryofElectromagneticFieldandElectricalApparatusReliabilityofHebeiProvince， HebeiUniversityofTechnology，Tianjin300130，China) Abstract：Flexibletactilesensorsshouldhavethesamefunctionastheskin，whichcandetectmagnitudeand directionoftheappliedforce．Theimprovedpiezoresistivetactilesensorismadeupofacentralcoreandfourside walls．andsensingelementsfornormalofrceand shearforcearedifferent．Thetactile sensoriSembedded in a po1ydimethylsiloxane(PDMS)elaStomer，torealizeflexibledetection．Throughsimulationanalysis，detectionrange ofnormalforceoftactilesensoris600Pa一65kPa，andtheminimum shearforceis900Pa．Byfurtheranalysis， resistancechangecllrveofnornlalforcesensingelementwhenthenormalforceandshearforceareappliedonthe sensorisobtained．Thetactilesensorcan effectively reducethe interferenee betweenthenoriilal